蓝宝石衬底（Sapphire Wafer）
发布于2021-05-28 10:20 文章来源：未知
蓝宝石衬底 Sapphire Substrate
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♦所有基片都经过精密抛光并充保护气氛保护，满足Epi-Ready使用要求。
♦晶向选择：可提供其他晶向，如(110)。 ♦先进的光学测量技术，保证我们生产的每一片基片的表面干净无污染。 ♦纯度：99.999%，单晶材质。 ♦生产厂家：德国Mateck，德国Crystec。 |
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晶向选择：
晶向：（0001），（1120），（1-102），（10-10）
晶向精度：+/- 0.1° 晶格常数：a: 0.476 nm，c: 1.300 nm 直径范围：
常规直径(mm)：50.8，76.2，100.0
可选尺寸(mm)：10*10，max. 150*150 尺寸精度(mm)：+/- 0.5 厚度范围：
厚度范围(mm)：0.5，min. 0.33
厚度误差(mm)：+/- 0.025
表面抛光：
单面抛光/双面抛光，epi-ready
抛光精度：Ra < 0.5nm
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