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与Furukawa开发大尺寸砷锭

发布于2021-02-22 17:59    文章来源:未知

携手日本古河电子(Furukawa)共同研发大尺寸砷锭


随着国内半导体工艺的不断发展与进步,尤其是近几年,国内市场对于高质量半导体器件的需求不断提升,越来越多的工业企业投入到了半导体器件的开发与应用领域。日本古河电子(Furukawa)作为全世界最早为分子束外延技术提供高质量、高纯砷的一家企业,为了满足工业企业对于大尺寸砷锭的需求,提高工业企业的生产效率,日本古河电子携手元素科学共同开发大尺寸砷锭。



MBE级别砷锭(7N5)是半导体芯片技术的核心原材料,高纯度的砷锭可以极大的减少材料表面的生长缺陷。半导体材料中掺砷后成为N型半导体,增加自由电子的浓度,增强导电能力。大块砷锭有助于MBE工作者优化素源炉填料的效率,小颗粒的砷粒可以大幅降低成本。只有纯度可靠的7N5砷,才能保证半导体材料的生长质量。

另一方面,原有的小尺寸砷锭,在装填原材料的时候,需要装填多个锭条才能完成装料这个环节,不仅增加了装填原料的时间,同时无法保证整个腔体内可以优秀装填效率,留有很大的空隙。大尺寸砷锭不仅可以减少研究人员的装料时间,避免有毒性的砷长时间暴露在空气里,同时可以使装填效率超过80%,极大的延长了设备正常的使用时间,甚至便于研究人员更好的维持素流的稳定性。

目前我们预计,大尺寸砷锭的优秀直径可以达到155mm,完美贴合设备坩埚的尺寸,由于材料及坩埚尺寸存在一定的精度误差,所以最终材料的直径及长度有待于日本研发团队的最终确认。元素科学有信心,在未来不断地给国内半导体科研人员提供质量稳定、可靠的材料,助力国内半导体事业的发展。